データトランスファーチェッカー

SEMI E84の事前/事後チェックにご利用ください。2種類のアプリケーションソフトにより、搬入前の移載シミュレーションと、稼動後の移載トラブル解決に光通信ログデータをDMG/DMJから読み出し、パソコンにタイミングチャートでわかりやすく表示。