光データ伝送装置
8BIT、4BITパラレルI/Oインターフェースの伝送装置です。
光を使ったケーブルレス通信でAGV(無人搬送台車)などの移動体との無線通信が可能です。
半導体製造装置規格SEMI E84に対応しています。
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