・使用圧力範囲:-100kPa~0.5MPa・真空吸着と真空破壊、双方向の異物を捕捉、再飛散防止・省スペース 設置面積41%削減・チェック弁の保護 流れ順序:フィルタ→チェック弁 チェック弁の異物噛み込み防止・適用チューブ外径:Φ4, Φ6, Φ8