材質本体:SUS316、ダイアフラム:NBR、弁材:PCTFE、その他:SUS316、SUS304質量(kg)2使用圧力(MPa)二次側:0.2~0.99使用温度(℃)ー10~+40(設計温度:ー10~+75)接続入口:W22-14山(右)袋ナット(P)、出口:Rc1/4フィルター粗さ:200メッシュ使用ガスO2、N2、Ar、Air、He、H2標準流量(m3/h)O2, N2,Ar,Air:45 H2,He: 90(P2=0.6MPa)一次側圧力計(MPa)25一次側圧力(MPa)2~15二次側圧力計(MPa)1.6最大流量(m3/h)O2,N2,Ar,Air:55 H₂.He:110(P2=0.6MPa)内容量1台