ガスに含まれる異物を除去する機器です。出入口形状は、メタルシール接続・2圧縮リング継手の高純度機器用のインラインフィルタです。 最大使用圧力20MPa で濾過度の高いエレメント(2μ,5μ,10μ)を使用しています。