逆流防止電磁弁付き超小型真空ポンプ HFC、HCFC、CFC対応型排気ポートと吸気ポートとの間に大きな差圧を乗じさせるように吸気された空気は2つのローターにより、より高圧縮状態で排気される構造になっております。この構造は吸気ポート側のローターに逆圧負荷がかからず、スムーズに排気回転することにより、小型であってもより高い真空状態を作る事が出来ます。