インレットフィルタ

低真空(100Pa以上)用のエアフィルタです。
油回転真空ポンプの吸気口に取り付け、真空排気ラインで発生する粒子・ダスト・コンタミを捕集しポンプを保護します。
ポリエステル製5μmのエレメントにより粉塵などを99%以上キャッチします。
L型ですので真空配管を外さずにエレメント交換が可能です。工具も必要ありません。