標準ガス、ゼロガス、高純度ガスでの使用に最適。1外部リーク量低減と純度維持のためステンレス製ダイヤフラムを採用 2内部リーク低減のためにフィルターを内蔵しています。 二段減圧式構造により小流量の安定供給が可能です。 圧力変動特性が非常に小さいため、ボンベ圧力が変化しても供給圧力は一定です。