サファイア受圧部を採用した国産の隔膜真空計
ゼロシフトしにくい中央受圧構造を採用し、デポ付着の影響を低減
真空⇔大気サイクルによるドリフトの影響を受けにくい高強度サファイアダイアフラム
受圧部温度・基板温度を監視し、温度補正による高安定計測を実現
ワンプッシュ(3秒長押し)で簡単ゼロ調整可能
ゼロ調整幅±20%FSで交換・校正周期の延長に貢献
状態表示LED搭載でウォームアップ・異常・イベント状態を可視化
3点のイベント出力を標準搭載しインターロック用途に対応
PCローダ接続により圧力・温度・電源電圧・異常情報などを可視化可能
半導体製造装置、真空炉、真空ポンプ評価装置、凍結乾燥装置向けに最適
