ZPure(TM)M (超大容量ガス精製フィルター)、ZPure(TM)M ガス精製フィルターは3，800 ccの大容量で除去容量が大きく、かつ大流量で使用できます。形状は円筒形で316ステンレス製、接続部分は1/2"VCRと1/4"コンプレッションフィッティング接続を採用しています。ZPure(TM)M フィルターには、炭化水素、水分、酸素/水分フィルターおよびPolyGas IIの除去タイプを用意しています。不活性ガス、He、Ar、N2、H2 をより大容量で精製することができます。汚染物質を含まない高純度ガスを必要とするあらゆるアプリケーションに推奨します。とくに半導体用途で多く採用されています。
