・一体構造で省スペース化。【真空用フィルタ】・真空供給システムの水滴や汚染物質を除去。・フィルタボウルには、耐薬品性に優れたポリアミドを採用。【真空用レギュレータ】・高精度な真空制御(分解能0.13kPa以内)と高い安定性。・真空源の元圧制御に最適。・最大流量350L/min