固定された渦巻き型の壁(固定スクロール)に対面した渦巻き型の壁(従動スクロール)が偏芯運動することによって真空排気をする真空ポンプです。大排気量でコンパクトなサイズです。ドライ型真空ポンプとしては最高レベルの到達圧力です。自動復帰型サーマルプロテクター内蔵(単相用)による安全設計です。