デジタルマスフローコントローラ：MQVシリーズ

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寸法、仕様情報(1.65MB)ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)注文コード07687697品番MQV0500JSR1S100Y0

参考基準価格(税別)￥1,250,000販売価格(税込)￥1,088,780

販売価格(税別)

￥989,800

●熱式マスフロー(μF/マイクロフロー)センサ採用：質量流量を直接計測するため、温度・圧力変動の影響を受けにくい安定制御。
●高速応答・広レンジ：約300msの高速制御と100:1の広い制御レンジで、設定変更や外乱に強い。
●低差圧動作：ストレート流路構造により圧力損失が小さく、低圧供給ガスでも制御可能。
●使いやすい電源・設定：DC24V電源(ACアダプタ対応)で専用電源不要。PCローダ通信で設定・監視が容易。
●幅広い流量レンジ/ガス対応：微小流量(mL/min)から大流量(L/min)までラインアップ。

用途

●工業炉・熱処理炉の雰囲気ガス制御：浸炭炉、焼鈍炉などで炉内ガス比率を精密制御。
●燃焼・加工用途(ろう付け/ガラス加工/切断)：燃料ガスと助燃ガスの比率制御で品質安定。
●真空装置・研究/試験装置：スパッタ、ガス分析、評価装置でのガス流量制御。
●半導体・電子分野(パージ・雰囲気制御)：ロードポート等でのN₂パージや雰囲気管理

ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)

関連資料：寸法、仕様情報(1.65MB)

注意

※写真は代表画像です
※個人宅(戸建住宅・集合住宅)様への配送は行っておりません。