- 質量(kg)
- 23
- 径(Φmm)
- 吸込ダクト：50
- 長さ(m)
- 吸込ダクト：2.5(質量2kg吸込口含む)
- 消費電力(W)
- 230
- 最大静圧(kPa)
- 1.3
- フィルター
- 1次フィルター：金属フィルタ(スパッタによる焼損防止)、2次フィルター：ハイパック・プレフィルタ(粗じん粒子の除去・捕集率80%以上 1～10μm)、3次フィルター：中性能フィルター(捕集率0.4μm80%以上、0.7μm90%以上)
- 外形寸法(幅W×奥行D×高さH)(mm)
- 247×578×387
- 最大風量(m3/min)
- 5.8
- 入力電源(V)
- AC100(50/60Hz)
