質量(kg)23径(Φmm)吸込ダクト：50長さ(m)吸込ダクト：2.5(質量2kg吸込口含む)消費電力(W)230最大静圧(kPa)1.3フィルター1次フィルター：金属フィルタ(スパッタによる焼損防止)、2次フィルター：ハイパック・プレフィルタ(粗じん粒子の除去・捕集率80%以上 1～10μm)、3次フィルター：中性能フィルター(捕集率0.4μm80%以上、0.7μm90%以上)外形寸法(幅W×奥行D×高さH)(mm)247×578×387最大風量(m3/min)5.8入力電源(V)AC100(50/60Hz)
