スピンドルピッチ0.1mmの高精度ねじ加工技術の実現により、従来の0.5mmピッチに対し、1/5の微細送りを可能にしました。 外観形状は従来の標準タイプ(0.5mmピッチ)と互換性を持たせていますので、簡単に交換ができます。 半導体装置のテーブル送り、光学用光軸調整装置の微細送りなどに使用できます。
