ガスの種類Heアズワン品番3-5071-04フルスケール流量2SLM仕様(外部リークレート)1×10-7Pa・m3/sec(He)以下材質(接ガス部)SUS316、PTFE、フッ素ゴム寸法(mm)127×25.5×100バルブ形式N/Oノーマルオープン電源+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA再現性±0.2%FS耐圧(MPa)1(G)接続1/4in.SWL相当通信方式アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)入出力アナログ信号(0～5VDC)流量精度±2%FS(精度保証範囲15～35℃)使用圧力範囲(kPa)50～300応答性6sec流量制御範囲5～100%FS
