フランジサイズ40材質(シール)シール材質:Chemraz；配合NO.:SSE38仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品)；リーク量:内部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)操作ポート方向フランジ側表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:蓚酸アルマイトオーダーメイド仕様標準温度仕様/ヒータの有無5～150℃、ヒータなし
