用途接液部オールテフロン、オーリングレスで、半導体プロセスの液体流量監視に最適です。適合流体超純水・薬液等液体接続口径1/2"チューブエンド質量(g)60(本体)規格IP64(JIS C0920、防まつ構造)出力表示器無、電流出力:4~20mA(リニア)電源2~24VDC精度±3%F.S.(25℃)使用温度(℃)液体:0~90(凍結、沸騰なきこと)再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1流量レンジ2~20L/min周囲湿度(%RH)5~90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)0~50材質(接液部)New PFA、Super PFA