・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。
