・工場内循環水との直接熱交換器。・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。・インバータタイプの選択可能。
