フランジサイズ40材質(シール)シール材質:FKMForPlasma；配合NO.:3310-75温度範囲(℃)5～60オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉オートスイッチ種類有接点オートスイッチ，グロメット，2線式，横取出，リード線3m，適用電圧：AC/DC24V以下，AC/DC48V以下，AC/DC100V以下仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品)、SバルブシールAssy(保守部品)(材質SUS304+シール材)、固定用Oリング；リーク量:内部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)操作ポート方向フランジ側
