フランジサイズ50材質(シール)シール材質:Kalrez；配合NO.:4079温度範囲(℃)5～150仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品)、SバルブシールAssy(保守部品)(材質SUS304+シール材)、固定用Oリング；リーク量:内部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)操作ポート方向フランジ側
