ステージ寸法(mm)Φ30材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地移動方向XYZ軸4方向質量(kg)0.28種類xyzステージ/回転ステージ感度(XYZ軸)0.003mmクランプ(XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ目量(XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)目盛読み2°/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.027°)耐荷重(N)9.8RoHS指令(10物質対応)対応操作位置(XY軸)サイド送り方式(XY軸)CMH-6.5RA、(Z軸)CMH-6.5F、(回転軸)CMH-6.5RA(各軸標準マイクロメータ)移動ガイドXY軸：HG-VCR(V溝とクロスローラ)、Z軸：V溝レールと鋼球、回転軸：すり合わせ移動精度(mm)真直度/XY軸：0.002、Z軸：0.003、心円度/回転軸：0.02、面振れ/回転軸：0.02XY直交度(mm)0.01移動量(°)粗動360・微動±5ストローク(X距離)(mm)±3ストローク(Y距離)(mm)±3ストローク(Z距離)(mm)0～5移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約1.36°
