用途フィルムの蛇行計測・フィルムのシート厚み計測。電子部品の異品種混入・ガラス基板の異常判別・ウエハアライメント。検出方式-仕様-タイプコントローラ測定範囲(mm)-使用温度範囲(℃)0~50(密着取付のこと、0~35)保護構造-コード長さ(m)-接続方式-アナログ出力-電源電圧(V)DC 10~24デジタル出力-測定距離(mm)-保護回路電源逆接保護保存温度範囲(℃)-20~70(氷結しないこと)通信機能EtherCAT耐衝撃(m/s2)2(10~60Hz)X、Y、Z各方向2時間表示灯-特性-接続台数4ケーブル種類-デジタル入力-使用湿度範囲(%RH)30~85(結露しないこと)