- 質量(kg)
- 1.55
- 材質(本体)
- アルミ合金
- 種類
- Xステージ
- モーター
- PK544PMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)
- 分解能
- (フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm
- 耐荷重(N)
- (水平)196
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 送り方式
- 研削ねじ・リード0.5mm
- 移動ガイド
- クロスローラ
- テーブル幅(mm)
- 100
- テーブル長さ(mm)
- 100
- ストローク(X距離)(mm)
- ±12.5
- モーメント荷重(arcsec/N・cm)
- 0.02
