- 質量(kg)
- 2.75
- 材質(本体)
- 鉄
- モーター
- PK544PMB(オリエンタルモーター:定格電流0.75A/相,基本ステップ角0.36°,リード線5本)
- 分解能
- (フル/ハーフステップ)1μm/0.5μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.05μm
- 種類
- Xステージ
- 耐荷重(N)
- (水平)196
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 送り方式
- ボールねじ・リード1mm
- 移動ガイド
- クロスローラ
- テーブル幅(mm)
- 100
- テーブル長さ(mm)
- 100
- ストローク(X距離)(mm)
- ±12.5
- モーメント荷重(arcsec/N・cm)
- 0.01