質量(kg)0.56材質(本体)アルミ合金種類xyステージモーターTS3664N16E2(多摩川精機：定格電流0.75A/相、基本ステップ角0.72°、リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)2μm/1μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.1μm耐荷重(N)(水平)34.3RoHS指令(10物質対応)対応送り方式研削ねじ・リード0.5mm移動ガイドクロスローラテーブル幅(mm)40テーブル長さ(mm)40ストローク(X距離)(mm)±5ストローク(Y距離)(mm)±5モーメント荷重(arcsec/N・cm)1.02
