- 質量(kg)
- 0.42
- 材質(本体)
- アルミ合金
- モーター
- PK513PB(オリエンタルモーター：定格電流0.35A/相、基本ステップ角0.72°、リード線5本)
- 分解能
- (フル/ハーフステップ)0.5μm/0.25μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.025μm
- 耐荷重(N)
- (水平)39.2
- 種類
- Zステージ
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 送り方式
- 1/2-クサビ・研削ねじ・リード0.5mm
- 移動ガイド
- クロスローラ
- テーブル幅(mm)
- 50
- テーブル長さ(mm)
- 50
- ストローク(Z距離)(mm)
- ±4
