- 質量(kg)
- 1.15
- 材質(本体)
- アルミ合金
- モーター
- PK544PMB(オリエンタルモーター：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.36°，リード線5本)
- 分解能
- (フル/ハーフステップ)0.25μm/0.125μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.0125μm
- 耐荷重(N)
- (水平)49
- 種類
- Zステージ
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 送り方式
- 1/4-クサビ・ボールねじ・リード1mm
- 移動ガイド
- クロスローラ
- テーブル幅(mm)
- 70
- テーブル長さ(mm)
- 70
- ストローク(Z距離)(mm)
- ±2.5
