- 質量(kg)
- 6.8
- 材質(本体)
- アルミ合金
- モーター
- C087Q-9215P(オリエンタルモーター神津精機専用型式：定格電流0.75A/相、基本ステップ角0.72°，リード線5本)
- 分解能
- (フル/ハーフステップ)2μm/1μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.1μm
- 耐荷重(N)
- (水平)98
- 種類
- Zステージ
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 送り方式
- 研削ねじ・リード1mm
- 移動ガイド
- リニアガイド
- テーブル幅(mm)
- 100
- テーブル長さ(mm)
- 100
- ストローク(Z距離)(mm)
- ±50
