質量(kg)14.5材質(本体)アルミ合金種類ZステージモーターC090P-9015P(オリエンタルモーター神津精機専用型式：定格電流0.75A/相，基本ステップ角0.72°，リード線5本)分解能(フル/ハーフステップ)0.2μm/0.1μm、(マイクロステップ≦1/20分割>)0.01μm耐荷重(N)(水平)490RoHS指令(10物質対応)対応送り方式1/40-ウォーム・ボールねじ・リード4mm移動ガイド四面フラットローラガイドテーブル幅(mm)160テーブル長さ(mm)160ストローク(Z距離)(mm)±25
