● パネルマウント形マスフローコントローラ:制御盤前面からの操作・設定が可能● 質量流量を高精度に制御:ガス流量を設定値に追従させ、安定したプロセスを実現● 表示・操作一体型:流量表示、設定、状態確認を本体パネルで完結● 装置組込みに最適:半導体・FPD・分析装置などに幅広く採用