パネルマウントマスフローコントローラ：MPC

● パネルマウント形マスフローコントローラ：制御盤前面からの操作・設定が可能
● 質量流量を高精度に制御：ガス流量を設定値に追従させ、安定したプロセスを実現
● 表示・操作一体型：流量表示、設定、状態確認を本体パネルで完結
● 装置組込みに最適：半導体・FPD・分析装置などに幅広く採用

用途: ● プロセスガス流量制御：成膜、エッチング、洗浄、雰囲気制御
● 装置用ガス供給制御：半導体・FPD・研究開発装置
● 分析・試験用途：分析計、評価装置での精密流量制御
● ガス消費量の安定化：品質ばらつきの低減・再現性向上

内容量: 1個

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￥183,000

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￥212,000

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