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MPC0020BBRN0200D0 パネルマウントマスフローコントローラ:MPC azbil(旧:山武) 57392460

パネルマウントマスフローコントローラ:MPC

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内容量1個関連資料(1.82MB)注文コード57392460品番MPC0020BBRN0200D0
参考基準価格(税別)¥227,000販売価格(税込)¥241,780
販売価格(税別)
219,800

● パネルマウント形マスフローコントローラ:制御盤前面からの操作・設定が可能
● 質量流量を高精度に制御:ガス流量を設定値に追従させ、安定したプロセスを実現
● 表示・操作一体型:流量表示、設定、状態確認を本体パネルで完結
● 装置組込みに最適:半導体・FPD・分析装置などに幅広く採用

用途
● プロセスガス流量制御:成膜、エッチング、洗浄、雰囲気制御
● 装置用ガス供給制御:半導体・FPD・研究開発装置
● 分析・試験用途:分析計、評価装置での精密流量制御
● ガス消費量の安定化:品質ばらつきの低減・再現性向上
関連資料:(1.82MB)
注意
※写真は代表画像です
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