●熱式マスフロー(μF/マイクロフロー)センサ採用：質量流量を直接計測するため、温度・圧力変動の影響を受けにくい安定制御。
●高速応答・広レンジ：約300msの高速制御と100:1の広い制御レンジで、設定変更や外乱に強い。
●低差圧動作：ストレート流路構造により圧力損失が小さく、低圧供給ガスでも制御可能。
●使いやすい電源・設定：DC24V電源(ACアダプタ対応)で専用電源不要。PCローダ通信で設定・監視が容易。
●幅広い流量レンジ/ガス対応：微小流量(mL/min)から大流量(L/min)までラインアップ。
