仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mAサイズ127×38×100mmフルスケール流量50SCCM再現性±0.2%FS通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)アズワン品番4-1548-02応答時間≦2sec対象ガスN2バルブ種類NC(ノーマルクローズ)材質(シール)フッ素ゴム耐圧力(MPa)1
