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XGTP311-50336-1N XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブ SMC 69273165

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XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブ

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内容量: 1個
仕様: ゲート部シール材質:(1) FKM、オートスイッチおよびコネクタ:(-) なし
バルブ形式: (1) インサート式 (ボデイなし)
注文コード: 69273165
品番: XGTP311-50336-1N

参考基準価格(税別)￥597,300販売価格(税込)￥593,780

販売価格(税別)

￥539,800

長寿命：300万回(常温時)
発塵量：1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用

材質(シール): FKM
バルブ形式: (1) インサート式 (ボデイなし)
オートスイッチ種類: オートスイッチ:なし；コネクタ種類:なし
エンドロック: (N) なし
仕様: ゲート部シール材質:(1) FKM、オートスイッチおよびコネクタ:(-) なし
適合ウェハー寸法(Φmm): 300mmウエハ対応
開口窓寸法(mm): 50X336
軸数とシール形式: 1軸ベローズ

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