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XGTP311-50336-2FN XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブ SMC 69273208

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XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブ

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内容量: 1個
仕様: ゲート部シール材質:(2) Kalrze 4079、オートスイッチおよびコネクタ:(F) D-A93、Dサブコネクタ付、適用温度範囲: 20℃ ～ 60℃
バルブ形式: (1) インサート式 (ボデイなし)
注文コード: 69273208
品番: XGTP311-50336-2FN

参考基準価格(税別)￥719,570販売価格(税込)￥714,780

販売価格(税別)

￥649,800

長寿命：300万回(常温時)
発塵量：1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用

材質(シール): Kalrez4079
バルブ形式: (1) インサート式 (ボデイなし)
オートスイッチ種類: オートスイッチ:D-A93；コネクタ種類:Dサブコネクタ；適用温度範囲:20℃～60℃
エンドロック: (N) なし
仕様: ゲート部シール材質:(2) Kalrze 4079、オートスイッチおよびコネクタ:(F) D-A93、Dサブコネクタ付、適用温度範囲: 20℃ ～ 60℃
適合ウェハー寸法(Φmm): 300mmウエハ対応
開口窓寸法(mm): 50X336
軸数とシール形式: 1軸ベローズ

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