仕様粗さパラメータ:Ra、Rz、Ry、Rq、Rt、Rp、Rmax、Rv、R3z、RS、RSm、RSk、Rmr、評価されたプロファイル:粗さプロファイル(R)一次プロファイル(P)、測定システム:メートル法、インペリアル、ディスプレー解像度:0.001um、ピックアップ測定範囲:±20um、±40um、±80um、カットオフ長(L):0.25mm / 0.8mm / 2.5mm /オート、評価の長さ:1〜5L(選択可能)、トレース長:3-7L(選択可能)、デジタルフィルター:RC、PC-RC、ガウス、DP、最大トレース長:17.5mm /0.71インチ、最小トレース長:1.3mm /0.052インチ
データ出力RS232