仕様粗さパラメータ：Ra、Rz、Ry、Rq、Rt、Rp、Rmax、Rv、R3z、RS、RSm、RSk、Rmr、評価されたプロファイル：粗さプロファイル(R)一次プロファイル(P)、測定システム：メートル法、インペリアル、ディスプレー解像度：0.001um、ピックアップ測定範囲：±20um、±40um、±80um、カットオフ長(L)：0.25mm / 0.8mm / 2.5mm /オート、評価の長さ：1～5L(選択可能)、トレース長：3-7L(選択可能)、デジタルフィルター：RC、PC-RC、ガウス、DP、最大トレース長：17.5mm /0.71インチ、最小トレース長：1.3mm /0.052インチデータ出力RS232
