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SPG5AT10RE010100 サファイア隔膜真空計:SPGシリーズ azbil(旧:山武) 82547678

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サファイア隔膜真空計:SPGシリーズSPG5AT10RE010100

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内容量
1個
注文コード
82547678
品番
SPG5AT10RE010100
大変申し訳ございませんが、只今品切れしております。
入荷は未定です。
参考基準価格(税別)¥836,000販売価格(税込)¥879,780
販売価格(税別)
¥799,800

・単結晶サファイア隔膜を採用:耐食性・耐熱性に優れ、高温環境(約125~200℃)でも再現性の高い計測が可能。
・高精度・高速応答:精度はReading基準で約0.25~0.5%、応答も高速でプロセス変動を追従。
・堅牢構造・多彩な形状

用途
・半導体製造装置の真空圧力計測:CVD、エッチング、スパッタリングなどのプロセスチャンバー圧力監視。
注意
※個人宅(戸建住宅・集合住宅)様への配送は行っておりません。

特別運賃

地域単位配送費
全国数量1以上のご注文(同一注文コードにつき)¥1,000/税込¥1,100
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