サファイア隔膜真空計：SPGシリーズ
・単結晶サファイア隔膜を採用：耐食性・耐熱性に優れ、高温環境(約125～200℃)でも再現性の高い計測が可能。
・高精度・高速応答：精度はReading基準で約0.25～0.5%、応答も高速でプロセス変動を追従。
・堅牢構造・多彩な形状
- 用途
- ・半導体製造装置の真空圧力計測：CVD、エッチング、スパッタリングなどのプロセスチャンバー圧力監視。
- 内容量
- 1個
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