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サファイア隔膜真空計:SPGシリーズ

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内容量
1個
注文コード
82547705
品番
SPG5AP12RE010100
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入荷は未定です。
参考基準価格(税別)¥836,000販売価格(税込)¥879,780
販売価格(税別)
799,800

・単結晶サファイア隔膜を採用:耐食性・耐熱性に優れ、高温環境(約125~200℃)でも再現性の高い計測が可能。
・高精度・高速応答:精度はReading基準で約0.25~0.5%、応答も高速でプロセス変動を追従。
・堅牢構造・多彩な形状

用途
・半導体製造装置の真空圧力計測:CVD、エッチング、スパッタリングなどのプロセスチャンバー圧力監視。

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