XY直交度(mm)0.02ストローク(X距離)(mm)±50ストローク(Y距離)(mm)±50種類xyステージテーブル長さ(mm)130テーブル幅(mm)200耐荷重(N)216送り方式手動ねじ式移動ガイドV溝とクロスローラ質量(kg)16クランプ割締め式平行度(mm)0.06目量バーニヤ読み0.05mm材質/処理(テーブル)鋼材/カニゼンメッキRoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003、ヨーイング・ピッチング15secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性：0.02、ピッチ剛性：0.02、ロール剛性：0.01移動量(ツマミ1回転)1mm
