- XY直交度(mm)
- 0.02
- ストローク(X距離)(mm)
- ±50
- ストローク(Y距離)(mm)
- ±50
- 種類
- xyステージ
- テーブル長さ(mm)
- 130
- テーブル幅(mm)
- 200
- 耐荷重(N)
- 216
- 送り方式
- 手動ねじ式
- 移動ガイド
- V溝とクロスローラ
- 仕様
- (リニアスケール)マグネスケールおよび表示ユニット付
- 質量(kg)
- 16
- クランプ
- 割締め式
- 平行度(mm)
- 0.06
- 目量
- バーニヤ読み0.05mm/スケール表示ユニット読み0.0005mm(0.5μm)
- 材質/処理
- (テーブル)鋼材/カニゼンメッキ
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 移動方向
- XY軸2方向
- 移動精度(mm)
- 真直度(水平・垂直)0.003、ヨーイング・ピッチング15sec
- モーメント剛性(sec/N・cm)
- ヨー剛性：0.02、ピッチ剛性：0.02、ロール剛性：0.01
- 移動量
- (ツマミ1回転)1mm
