- XY直交度(mm)
- 0.01
- ストローク(X距離)(mm)
- ±3
- ストローク(Y距離)(mm)
- ±3
- 種類
- xyステージ
- テーブル長さ(mm)
- 70
- テーブル幅(mm)
- 70
- 耐荷重(N)
- 78.4
- 送り方式
- MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)
- 移動ガイド
- HG-VCR(V溝とクロスローラ)
- 感度
- 0.001mm
- 質量(kg)
- 0.5
- クランプ
- 板クランプ
- 平行度(mm)
- 0.050、運動の平行度：0.020
- 目量
- マイクロメータ式0.002mm
- 材質/処理
- (テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 操作位置
- センター
- 移動方向
- XY軸2方向
- 移動精度(mm)
- 真直度(水平・垂直)0.002ヨーイング20sec、ピッチング30sec
- モーメント剛性(sec/N・cm)
- ヨー剛性：0.06、ピッチ剛性：0.20、ロール剛性：0.20
- 移動量
- (ツマミ1回転)0.1mm
