- ストローク(Z距離)(mm)
- 0～6
- 種類
- Zステージ
- テーブル長さ(mm)
- 70
- テーブル幅(mm)
- 70
- 耐荷重(N)
- 29.3
- 送り方式
- MHS4-6.5FP(ファインピッチマイクロ)
- 移動ガイド
- HG-VCR(V溝とクロスローラ)
- 質量(kg)
- 0.4
- 感度
- 0.001mm
- クランプ
- 板クランプ
- 平行度(mm)
- 0.1
- 目量
- マイクロメータ式0.002mm
- 材質(ベース)
- アルミ合金/黒アルマイト梨地
- 材質/処理
- (テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 移動方向
- Z軸1方向
- 移動精度(mm)
- 真直度(水平・垂直)0.005
- モーメント剛性(sec/N・cm)
- ヨー剛性 1.0、ピッチ剛性 2.5、ロール剛性 0.4
- 許容モーメント荷重(N・cm)
- ヨー：150、ピッチ：100、ロール：160
- 垂直度(mm)
- 0.01
- 移動量
- (ツマミ1回転)0.1mm
