- XY直交度(mm)
- 0.01
- ストローク(X距離)(mm)
- ±6.5
- ストローク(Y距離)(mm)
- ±6.5
- ストローク(Z距離)(mm)
- 0～10
- 種類
- xyzステージ/回転ステージ
- 耐荷重(N)
- 29.4
- 送り方式
- (XYZ軸)CMH-13RM、(回転軸)CMH-6.5RA (各軸標準マイクロメータ)
- 移動ガイド
- (XYZ軸)HG-VCR(V溝とクロスローラ)、(回転軸)すり合わせ
- 仕様
- 標準型
- 質量(kg)
- 1.11
- 感度
- (XYZ軸)0.003mm
- クランプ
- (XYZ軸)板クランプ、(回転軸)複合クランプ
- 目量
- (XYZ軸)マイクロメータ式0.01mm、(回転軸)バーニヤ読み10′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.01mm4°)
- 材質/処理
- (テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 操作位置
- (XY軸)サイド
- ステージ寸法(mm)
- Φ70
- 移動方向
- XYZ回転4方向
- 移動精度(mm)
- 真直度(XY軸)0.002、(Z軸)0.005、心円度(回転軸)0.04、面振れ(回転軸)0.02
- 移動量(°)
- 粗動360・微動±5
- 移動量
- (ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm・(ツマミ1回転)(回転軸)約0.7°
