表面センサー モールド型のレビュー

素線はタイプKにて、柔軟性があり対象物の表面に添付して測温が可能な熱電対です。応答速度が速く、基板等の対象物が小さいものに最適です。感温部は耐熱粘着テープを付け、リード線(ふっ素樹脂1メートル)ついています。 【用途】実験室、研究室等での小物体、狭小空間の表面温度測定に最適です。基板、ウエハー等の半導体製造装置の温度分布測定、真空装置、スパッタリング装置、分析装置内の温度測定、精密焼成炉等の温度測定でも使用可能です。