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フィルタユニット[装置用・薄型汎用フィルタユニット] 日立産機システムフィルタユニット[装置用・薄型汎用フィルタユニット]日立産機システム
139,800税込153,780
1台
31日以内出荷
ファンフィルタユニットとはファンとフィルタ(HEPAフィルタ)をセットにパッケージし、フィルターを通した清浄空気を供給する製品です。 半導体製造装置、搬送装置、保管庫、簡易型クリーンルーム(クリーンブース)用途。 機外静圧 98Pa対応を実現。 消費電力低減。 電源は、単相AC100V/200V共用。 無段変速調整。 海外規格対応設計:CEマーキング対応 ファン、モータは省エネを目的としたFFU専用品を開発・採用しております。 FFU製品だけでなく、モータ、パワーサプライ等重要部品についてもトレーサビリティを管理しております。
用途可変速タイプ(DCBLモータ)定格電源電圧単相100/200V(50/60Hz)共用風速(m/s)0.35機外静圧(Pa)98
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