用途マスフローコントローラは質量流量(Mass Flow)制御機器です。従来より、流体の流量計測・制御では「体積流量計」が用いられてきました。しかし、体積流量は温度・圧力の影響を受けるため、より精度良く流量計測・制御を行なう必要がある場合には、温度・圧力の影響を受けにくい「質量流量計(Mass Flow)」が用いられています。使用温度範囲(℃)5~50電源電圧±15接続【継手】1/4F900通信方式0~5(VDC)アナログ材質(Oリング)FKMバルブNCRoHS指令(10物質対応)対応最大圧力(kPa)400